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[成果] 1800140104 上海
TN773 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:变频器是电机调速系统的核心,广泛应用于国民经济各个领域。在国家积极推进高新技术产业发展背景下,发展高压变频器产业,对于国家工业技术发展,企业竞争力的提高以及建设两型社会具有重要意义,配合国家节能减排的部署,市场潜力巨大,但国内高压变频器技术主要以两电平级联拓扑结构为主,在三电平拓扑结构的高压变频器基本被国外跨国公司所垄断。该项目主要针对国内外高端客户市场需求,开展出基于三电平矢量控制的高压变频器,且实现了产业化,提升了高压变频器技术产业发展技术能级。 项目主要解决关键技术及技术创新点有: 1.基于第七代IGBT三电平主拓扑结构设计:针对中国市场发展需求,采用富士电机最新的第七代IGBT设计了三电平主拓扑结构高压变频器,具有小型化,高可靠性和高效率等特点,从而与三电平拓扑结构相结合,提升了产品的效率,缩小了产品体积,提升高压变频器产品可靠性。 2. 独创的基于复合脉宽调制技术:通过根据不同运行工况采用不同的脉宽调整技术,降低了产品输出谐波和转矩脉动,提升产品的调速范围,可以保证在各种工况下都能保持高性能运行,提升了电机调速系统的动态性能,该项技术领先水平; 3.基于无传感器的矢量控制技术:项目攻克了多单元级联的高压变频器矢量控制技术,而且针对低成本发展要求及提升产品抗干扰的应用需求,成功的开发出了无传感器的矢量控制技术,在无传感器的情况也可实现较高水平的运行; 4、高可靠单元旁路冗余技术:在单个功率单元故障时,自动快速旁路故障单元,系统自动调整并继续投入运行,即使功率单元控制系统出现问题也可以实现单元旁路控制,提高系统运行安全性和可靠性。除了以上提到的关键技术及创新外,设备同步切换、系统优化等方面也具有较高创新性。 该项目所开发的高压变频器不仅打破了国内高端市场被国外所垄断局面,而且大量销售于韩国、东南亚和南亚等市场,提升了中国高压变频器产品竞争能力,项目自开发成功后投入市场,已经形成销售达到13479万元。
[成果] 1800180027 上海
TN713 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:大力发展可再生能源并网发电符合国家能源发展战略;并网功率变换器是分布式可再生能源发电应用的关键部件,对保证系统的低成本、高效与高可靠性至关重要。国内外在并网功率变换器领域展开了大量研究,但在低成本拓扑、控制策略和高可靠实现方法等方面存在若干科学问题与关键技术亟需突破。项目组针对低电感滤波器原理、弱电网条件下稳定控制机理、低平波电容单相并网变换器拓扑原理及控制方法等基础理论进行了深入研究,取得如下重要科学发现: 1.首次推导发现了LCL和LLCL滤波器网侧电感量的理论下限值,揭示了LLCL滤波器节省电感的根本原因;相对于传统LCL滤波器,在同样满足谐波标准情况下,LLCL滤波器网侧电感量降低了75%,总电感量下降了38%。建立了LCL和LLCL滤波器标准设计准则,为国内外所广泛采用。提出了LLCL滤波器的串联对偶方案,为进一步降低电感量提供支持;给出了抑制LLCL滤波器的高频噪声的具体方法;为LLCL滤波器的工业化应用打下基础。成果为电压源型并网变换器的滤波电感成本大幅降低提供了理论依据和实现方法。 2.首次准确推导了基于LCL及LLCL滤波器的并网变流器的最佳无源阻尼电阻取值范围,为高阶滤波器的无源阻尼设计提供理论依据;揭示了在等效电网阻抗大范围变化工况下,单一无源阻尼设计的失效机理;建立了一种能适合等效电网阻抗大范围变化条件下(弱电网系数为4)单相并网逆变器的混合阻尼高带宽控制方案,可实现辅助器件和附加损耗都达到最少。成果为弱电网条件下并网变流器的高带宽稳定控制提供了理论支持及无源阻尼实现方法。 3.首次揭示了单相并网功率变换器的串联电容补偿抑制二次功率波动方案减少传统直流平波电容的理论极限;提出一种集串联抑制单相并网光伏逆变器二倍频电压波动及最大功率点跟踪功能于一体的单相逆变器拓扑及控制方法,能有效降低直流滤波电容量。成果能有效降低单相并网变流器的直流滤波电容容值,为采用高寿命、低容量的薄膜电容替代低寿命、高容量的电解电容提供可能,亦为提高变换器系统寿命及可靠性提供了有效实现方法。 项目组一共发表SCI论文26篇,其中23篇都发表在本专业顶级期刊IEEE Trans. Power Electron.和IEEE Trans. Ind. Electron.上,SCI引用1156次。8篇代表作(包括高被引论文两篇),影响因子总和为57.259,包括53个院士、IEEE Fellow课题组在内61个国家/地区学者SCI引用639次(他引566次);出版专著1部,获得授权发明专利6项(包括美国专利4项);其中一篇代表作获得2017年IEEE工业电子协会最佳学生期刊论文奖,得到国际学术界的高度认可。该项目研究成果直接推动了电力电子学科的发展,有力推进了并网变流器技术进步,以及促进了可再生能源的高效利用。
[成果] 1800180040 上海
TN762 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:高维化、密集化、网络化是新型视觉信号的内在需求,“数据量激增”、“处理复杂”与“内容失控”已成为视觉数据处理所面临的三大挑战。为实现高效的光线空间内容表示与保护,该项目揭示了高维密集视觉海量数据冗余分布的差异性机理,聚焦于数据冗余的去除与利用这一核心问题,构建高维密集视觉信号压缩的预测理论,既为高维密集视觉数据压缩提供了新的理论与方法,又实现了压缩与保护的融合,有力支撑了开放网络环境下高维密集视觉信号的安全应用。主要成果如下: 1.针对高维视觉信号数据量巨大的难题,揭示了高维视觉信号的冗余规律,创立了视间与时域联合的编码预测理论,探索了可大幅降低计算量的预测结构和优化策略,使平均计算量可比最典型方法降低85%,为高维视觉信号和自由视点视频压缩提供理论基础和应用依据。 2.针对超高空间分辨率视觉信号处理复杂度及网络传输带宽剧增的难题,构建运动场空/时域一致模型,揭示了空间密集视觉信号冗余特征多样性,发现了编码增益与运动特性之间的相关性,提出多模式和多尺度预测理论,可在大幅降低编码复杂度的同时提高编码效率。相关成果为近10年IEEET-MM引用次数最高的论文(1/1676)。 3.突破密文视觉信号不含冗余难以压缩的传统观念,发现了密文数据中的潜在冗余,提出“变换-量化”机制的密文数据有损压缩/可伸缩编码方法与密文域可逆信息隐藏方法,使数据加密与压缩两个学术领域融为一体,并衍生了密文域信息隐藏的新研究方向,为密文视觉数据的高效存储与传输、监控与管理提供了“先保护后压缩”的新理念。 4.针对视觉信号易篡改、难认证的难题,揭示了视觉信号冗余与水印数据冗余的可利用性,提出自嵌入水印的参考数据共享机制与内容投影表示机制,解决视觉信号内容认证的篡改并发问题与水印数据浪费问题,以“先压缩后保护”方式实现了篡改区域精确定位及无损、大范围与自适应的内容恢复。 8篇代表作(ESI高被引论文7篇、热点论文1篇)被SCI他引1146次,Google学术他引2266次;单篇最高SCI他引279次。项目组共发表论文200余篇,SCI他引4160次,Google学术他引10000余次。第一、二完成人分别获国家优秀青年科学基金和杰出青年科学基金,第二完成人任IEEE T-IFS编委,连续四年入选爱思唯尔“中国高被引学者”。 相关成果得到60余位IEEE Fellow和院士等一大批著名学者高度评价,如被加拿大院士P.Nasiopoulos等评价为最有效的自由视点视频压缩方法,被国际视频编码标准制定委员会主席Gray等称为“优秀方法”,并成为国际上评价高效视觉信号压缩算法的标杆,被O. C. Au等Fellow评价为“开创性成果”,被利物浦大学教授A. Nandi评价为是“优美的重建机制”,并成为高维密集视觉信号表示与保护研究进一步发展的基础。
[成果] 1900010061 广东
TN41 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:电子制造业是中国的支柱产业,其整体技术进步是国家经济持续发展与国防安全的重大战略需求。电子基板被誉为“电子产品之母”,产品升级换代,基板定制先行,规模庞大的电子产业升级亟需技术高端化、品种多样化、响应快速化的基板定制开发服务,高质高效的基板定制生产成为行业发展瓶颈。项目实施前,电子基板定制生产面临“高精度、高密度、多品种、短周期”诸多制造难题叠加,实现制造精度、生产效率、差异化适应性等定制能力的整体跨越成为行业发展的重大技术挑战。在国家、省重大项目支持下,历经十余年的产学研攻关,在关键技术与工艺、核心装备与生产优化等方面取得系列突破,创新如下: 差异化孔群高效加工精细控制新技术。发明了功率/脉冲/波长等加工参数精准调控技术,发明了多钻头动态特性工况智能匹配、运动平台随动抑振等加工过程精细控制技术。攻克了层级材料不一、孔径/孔距/孔深不一、通/盲孔并存的孔群高精高效关键加工难题。研制的系列装备差异化能力、精度、效率(最小孔径φ15μm,误差3.3%,平台最大加速度5.25g等)优于国际同类(φ20μm,10%,5g),适应更高密度的孔群加工。大族PCB加工设备销量全球第一。 差异化电路同板创成与高效互连新工艺。发明了基于精密减薄的差异线宽线距电路同板创成、孔群全铜定向填充互连等新工艺与装置。率先攻克了跨等级大差异线宽(10~100μm)电路同板创成与四层一次全铜填充互连的核心工艺难题,显著提高了差异化电路刻蚀与互连效率。最小线宽线距(10/10μm)优于国际同类(15/15μm),突破了同板刻蚀只适应同等级线宽线距的行业瓶颈 差异化订单组批排布与生产优化新方法。提出了差异化基板同板组批排布优化、基于资源死锁规避的可调度性分析与排产优化方法,攻克了大规模差异订单高效生产优化难题。大幅降低了生产批次,有效避免了工艺等待超时导致的产品报废与补投。差异化订单规模(24000种/月)明显高于国际同行(2000)。 电子基板高效定制生产技术的集成应用。发明了高适应性系列夹治具、飞针测试辅检具、产线优化配置方法等,形成了电子基板高效定制的系统解决方案。制造效率(1-5天)优于国际同类(1-2周),兴森公司成长为快板行业第一。 获授权发明专利70件(美国等国际专利9件)、软件著作权12项,国际标准2个、行业地方标准3个,SCI论文34篇,SCI他引640余次,高被引2篇。 激光精密加工系统入围国际棱镜奖;美国工程院院士、国际封装学会前主席C.P.Wong教授评价差异化电路同板创成是行业重大突破;美国工程院院士G. Salvendy教授等国际同行评价死锁规避与建模优化方法可最小化生产周期。 完成单位近三年新增销售40亿元,新增利润3.1亿元,为众多国际巨头、4000余家国内企业与一批航天国防单位提供品种数量庞大的基板定制服务,经济社会效益显著。鉴定结论:为中国电子制造业快速发展和国防工业进步提供了重要技术支持…总体技术国际先进,部分指标国际领先。项目为行业整体技术进步、产业国际竞争力跃升和国防安全做出了重大贡献。获广东省科技一等奖2项。
[成果] 1800130070 北京
TN761 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:一、目的: 国内几乎没有能够生产核心部件Y分支平衡桥调制器的单位。但是市场需求巨大,国家主推的三网合一、高清电视节目的需求,存在巨大的市场开发潜力。为满足市场应用需求与公司发展方向,需要启动YBBM项目的设计工作,该项目属于自主的新技术、新产品、新事业研制与开发投资项目。 该项目所要开发的CATV铌酸锂电光调制器用于模拟有线电视发射系统。该器件在铌酸锂基底上集成了一个相位调制器、一个强度调制器与一个平衡桥式结构的3dB光耦合器,以实现调制光波的相位与强度,并将之分束的功能。其中相位调制器的作用是用来抑制光纤中的SBS;强度调制器是用来将CATV电信号转换为光信号,它需要外置特殊的电路以实现电学线性,仅需要调节偏置点电路即可实现。该器件可以提供双纤互补输出。 二、创新点: 1.解决了3dB光波导耦合器关键技术;发明了精确控制3dB光波导耦合器的中心波长在1550nm附近的新工艺。 技术创新所属学科分类名称:集成光学,导波光学,光纤光学,非线性光学,光电子学,微波光子学,电磁场与微波技术,非线性光线光学,物理光学,半导体物理,晶体物理,激光物理。 2.发现了电极设计图形影响器件光学与电学性能指标的规律;解决了输出光功率随温度变化的关键技术,创新性特殊设计微波电极、偏置电极;并且发明了控制器件稳定输出的新工艺。 技术创新所属学科分类名称:集成光学,导波光学,光纤光学,非线性光学,光电子学,微波光子学,电磁场与微波技术,非线性光线光学,物理光学,半导体物理,晶体物理,激光物理。 3.创新性设计微波匹配网络,拓展了射频的工作频率范围。 发现了微波匹配网络影响器件工作频率带宽的规律;解决了提高器件工作带宽关键技术。 所属学科分类名称:微波光子学,电磁场与微波技术。 (一)经济效用: 1、产品在国内市场基本替代了进口产品; 2、自产品进入市场至2017年底共销售产品约3000余只,每只器件为国家节约外汇2000美元,总计为国家节约外汇720万美元; 3、截至2017年底,销售额约为2020万元,全部已结算销售收入约为1600万元,上缴税款约217.73万元。 (二)社会效用: 在国内实现了替代进口产品,填补国内空白,同时大幅度降低了国内客户的采购成本。
[成果] 1800290223 福建
TN762 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:该项目整合了惠普公司授权的TIJ喷墨技术、ARM9嵌入式技术、FPGA控制技术。采用自主设计的整机外形一体化设计,喷码机外壳及喷头模组的上下壳均采用工程塑料,通过采用滚轮上下架构方式、并且结合磁感应编码芯片、滚轮模块化设计使整个手持喷码机结构轻巧简洁;同时在喷码机上壳体与下壳体相接位置的内壁面上分别设置有沟槽,沟槽上插有一弹片将上壳体与下壳体相连接固定,在喷码机内置电子编码器、工业塑胶外壳,使机身更加轻薄、合理的设备重心,在减低整机重量的同时使机子外观造型更加美观,适合长时间操作。 本手持式喷码机设备支持中文、英文等多国语言,可喷印文本、图片、条码等可变数据,支持多行同时喷印,标配的600dpi滚轮,可进行扫描喷印,支持wifi连接,全新四轮模组设计和滚轮模组独立模块设计,在实际运用中更加灵活。随着行业快速发展,二维码、条形码等的普及,对较大产品或不易搬动物品上喷印标识,轻便、实用、经济又环保的手持式喷码机会是喷印的最佳选择。 成果创新性:传统的手持式喷码机因为编码器尺寸较大且需固定占据了较大面积,滚轮设计在喷码机墨盒左右侧,又占据了很大面积,且滚轮只能局限于直线滑动,完成不了弧形滚动喷码。该项目通过采用滚轮上下架构方式、并且结合磁感应编码芯片、滚轮模块化设计使整个手持喷码机结构轻巧简洁,实现手持喷码机一体化,便于生产装配和日后维修。目前的手持式喷码机多采用充电钻电池,电池置于手柄处,手柄分为上壳与下壳用螺丝固定或者卡扣固定,由于手柄处不易增加螺丝柱又影响美观,而卡扣又易失效与开裂。该项目设计的弹片固定手柄装置,将手持喷码机的壳体分为上壳体与下壳体,靠近上壳体与下壳体相接位置的内壁面上分别设置有沟槽,两道的沟槽倾斜延伸构成八字形,沟槽上插有一弹片将上壳体与下壳体相连接固定,配合自主研发的外形设计,充分利用有限的空间,保持了造型的美观流畅又实现了手柄固定的可靠性。该项目创新点总结如下:整体外形一体化设计,采用模块化的结构设计。磁感应芯片的运用,同时采用上下滚轮的运用。内置读码器,使用读码器后喷印和读码的使用方式。采用ucLinux系统架构,运用用4G模块集成。开放多级软件定制功能:应用级,数据级,驱动级。该项目技术来源除了提到的两项实用新型专利和一项外观设计,还有多项实审中的发明专利支持。 成果先进性:该项目开发出的手持式喷码机,在外观上的设计改进、解决传统手持式喷码机滚轮占面积且不能弧线喷涂的不足,解决手持式喷码机手柄固定装置问题。开发出手持式喷码设备的国内外厂家及主要对比如下: 国内:昇捷丰电子(厦门)有限公司,台湾金泰科技股份有限公司,北京金诺时代科技发展有限公司国外:德国EBS Ink-Jet Systeme公司存在的问题:(1)德国EBS使用的是大字符DOD技术,解析度只有50DPI左右,无法喷印条形码及二维码;(2)金泰科技使用高解析技术,但无WIFI、4G、扫描等功能,基本没有系统整合能力;(3)北京金诺使用的是XAAR技术,解析度只有185DPI,条码及二维码的识别率很低,无系统整合能力。 综上,国内产品的软件稳定性较差,喷印质量较差,产品外观粗糙;国外产品的外观设计较差,产品操作的手感及简易性不足。上述公司普遍存在的不足就是:系统扩展性差、功能性不足;外设产品支持性差、系统集成能力低,市场反应慢。 该项目先进技术包括:V1H手持式高解析喷码机为5寸一体式触摸屏外观,采用ucLinux系统架构,支持WIFI、4G、扫描等功能,内置读码器,解析度高达600dpi,支持八国语言,可喷印文本、图片、条码等可变数据,开放多级软件定制功能,具有弧形喷印功能,滚轮运用上下架构方式、并且结合磁感应编码芯片、滚轮模块化设计及运用弹片设置改进了手柄固定,使整个手持喷码机结构轻巧简洁,美观流畅。
[成果] 1900010635 天津
TN762 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:立体(3D)技术对电影电视、航空航天、文化传播、科学教育、广告传媒和虚拟现实等领域具有重要的支撑作用。从国家与社会的需求层面看,在原有电视、大型LED显示、移动手机等各类终端上增加3D功能,对促进终端更新换代、市场份额重新划分作用巨大;从对未来显示技术的引领层面看,立体显示是信息显示发展的必然趋势,关键技术的突破能让我国把握显示技术的变革方向,占领技术制高点。而立体信息处理与质量评价是立体技术的重要核心,是产业和市场迫切需要的技术。 该项目在国家科技重大专项、863计划、国家自然科学基金等项目的支持下,面向舒适显示,在基于视觉特性的立体信息处理与质量评价关键技术方面取得突破,创新性成果如下: (1)发明了面向裸眼立体视频的显示信息处理技术:首t次提出了基于振动光栅的立体信息处理方法,突破了分辨率转换和自适应显示信息合成处理技术,解决了裸眼显示分辨率低、终端分辨率和宽高比差异性大带来的显示失真等问题。 (2)发明了面向舒适立体显示的深度信息处理技术:提出了深度-纹理协同的深度信息处理方法和零视差校正方法,突破了深度信号欠采样、缺失等给立体内容处理带来的难题,深度重建精度提高一倍,建立了舒适度与视差范围的映射关系,解决了立体呈现中视差超标与基准漂移造成观看眩晕的问题。 (3)发明了基于视觉特性的立体视频编码技术:提出了基于多级视觉显著性的多视点彩色视频编码、基于运动与结构相似性的深度视频编码、立体混合视频生成及编码方法,解决了立体视频编码数据量大、存在错综复杂相关性的问题,提高了立体视频编码的压缩效率,深度视频码率节省22.20%。 (4)发明了基于视觉机理的立体信息质量评价技术:提出了主观数据确定、舒适因素定量测量、客观评价建模等技术,解决了主观实验稳定性差、立体内容制作无依据、主客观结果一致性差及立体技术优劣判定不易等难题,使客观评价模型与主观评价结果的视觉舒适匹配度达95.05%。 项目成果已应用在国家航天局、故宫博物院、中国科技馆等,为我国航空航天、文化传播等领域的事业发展做出了重要贡献。近三年,新增销售额14.3亿元,相关产品还进入到美国、德国、加拿大等30多个国家,出口创汇1.78亿美元。获得授权发明专利50项,其中美国专利1项,中国专利优秀奖1项:软件著作权1项;形成国际、国内标准(含草案)3项,牵头撰写并提交国家标准建议立项2项:发表SCI论文96篇,EI论文343篇,论文他引1388次;获天津市技术发明一等奖。鉴定委员会认为该项目“总体技术达到国际领先水平”。牵头研制并由工业和信息化部颁布的行业标准已被知名企业,如创维、TCL、康佳、海尔等30多家国内企业和三星、LG、松下、索尼等国外企业采纳应用。
[成果] 1800220401 安徽
TN752 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:低相噪锁相介质振荡器(PDRO)特别是机载、弹载振动等恶劣环境情况下频率源的相位噪声恶化较为严重。为了解决这一问题,需要增加防振措施和电路结构,从而增加了本振源的体积,同时电路结构的复杂化也必然降低系统的可靠性,采用锁相同轴介质振荡器技术(PCRO)能够弥补传统PDRO技术的缺点,具有输出频率可通过程序灵活设置、电路结构简单和可靠性高的优点,通过合理电路设计相位噪声可达到或超过PDRO水平,由于采用了同轴介质谐振器,而不再需要DRO必须附带的频率调谐杆,从而具有很好的抗振性能。因此PCRO在抗振低相位噪声微波本振源的应用将会非常广泛。但由于PCRO在X波段以上频段其技术还不是太成熟,因此有必要进行该方面的专题立项悠久,攻克关键技术,保障产品可实现工程化应用。高抗振低相噪稳频同轴介质振荡器是给予此背景而开展的,其包含了HDPCRO-1130型稳频同轴介质振荡器、HDPCRO-1306型同轴介质频率源、HDPCRO-1305型同轴介质频率源和HDX-FS1130型频率源等多个型号产品。其中HDPCRO-1130型稳频同轴介质振荡器为中船重工七二四研究所与中船重工七二三研究所某型号舰载雷达系统配套,为总装配部下达的新品研制任务,协议号为1407NW0001,舰载雷达系统的下行接受为宽带接受,覆盖几个倍频程,直接变频杂散较难抑制,所以需要通过二次变频来实现较高的杂散抑制,产品为变频提供本振信号,是系统中的核心器件之一,直接关系到整机系统的整体性能指标及正常运行;HDPCRO-1305型同轴介质频率源、HDPCRO-1305型同轴介质频率源为中国电子科技集团公司第714研究所多型号直升机、新型预警机通信系统配套,为总装配部下达的型谱研制任务,协议号为1407XW1300;HDX-FS1130型频率源为军转民《应用于卫星通信、导航系统的低成本电路板级PCRO研制》项目开展取得的研制成果之一,重点解决可批产化核心技术研究及工艺线建设,开展民用卫星通信、安检领域产业化配套研究,实现产业化产品开发。高抗振低相噪稳频同轴介质振荡器主要由电压控制频率产生、梳状谱发生、混频鉴相、环路滤波、输出匹配、电源处理等六个部分组成。该项目设涉及高纯度频率产生、低相噪环路锁相、低相噪恶化环路滤波及端口匹配等多个技术难点或是多项关键技术。高纯度频率产生课题组采用高Q值的同轴介质作为谐振器,配合低噪声的振荡管,产生高频谱纯度、低相位噪声的稳定频率源。采用扩频设计,将高Q低频率同轴介质作为振荡器设计中的一部分,构成振荡器预设值频率的元件,产生2倍同轴介质频率的振荡频率正弦信号。低相噪环路锁相课题组采用谐波混频加上数字鉴相相结合的方式实现参考晶振信号注入的锁相方式,既降低了直接数字锁相相躁恶化程度,又解决了模拟采样锁相工作稳定性差的缺陷。
[成果] 1900010181 北京
TN713 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:声表面波滤波器是移动通讯信号收发的核心器件。从2G到4G通讯,在有限的频谱资源内,十多年里通讯信道从2个增加至41个,每部智能手机的滤波器用量从6只增加至60-80只。受频谱资源和手机体积的双重限制,滤波器性能提升和尺寸减小成为通讯领域发展的技术壁垒,高世代(3G、4G和5G)声表面波滤波器长期依赖进口,美国商务部以违反出口管制法规为由,对中兴通讯等中国企业采取限制出口措施。声表面波滤波器被国家发展改革委和工信部等联合认定为“影响国家安全的器件”。 在国家863计划连续支持下,项目组产学研联动,从材料结构与性能调控的角度出发,以阐明换能器压电材料与电极材料间的机电耦合规律为抓手,“高功率、大带宽、小体积”为主攻方向,突破了换能器材料与滤波器的高性能化和微型化制备技术,实现了产业化,主要技术创新点包括: 功率提升技术:阐明了换能器电极材料与压电材料间的机电耦合规律,揭示了换能器材料受高频交变应力作用的电迁移机理,研制出多种具有强(111)织构的高性能“Al/Ti(Ni)/压电单晶”多层结构换能器材料,器件抗电迁移能力提高10倍,滤波器功率从25dBm提升至35dBm (提升10倍),成为国际高功率滤波器结构的主流方案。 带宽增加技术:诠释了压电材料沿不同晶体取向的声波传播规律,发现调控电极膜厚和压电晶体取向可使漏波变为纯的水平剪切声表面波,设计并制备出大带宽低插损的声表面波滤波器,相对带宽从5%增加至20%(增加4倍),突破了声表面波只能制备窄带滤波器的瓶颈,量产出国际上唯一的大带宽滤波器。 器件微型化技术:突破了声表面波滤波器耦合模/全波分析设计关键技术,通过加权和迭代技术优化指条参数,电磁耦合调控消除了器件多模干扰;突破了薄膜材料深亚微米光刻、分区曝光与拼接等微纳尺度精准加工技术,器件体积从十年前的3.8×3.8×1.5减小至0.8×0.6×0.45立方毫米,缩小至原来的1%,与国际先进水平同步发展。 器件产业化技术:研发出针对高世代滤波器的光刻、镀膜、金球凸点制作、划片、倒装焊、封装、在线检测等产业化技术,建立了自主知识产权的声表面波材料与滤波器生产线,年产能30亿只,占国内产能的85%,达国际需求量的7%左右,实现了中国高世代移动通讯滤波器产品从无到有的突破。 授权发明专利17件,发表SCI论文30余篇,出版专著1部。在中电集团、无锡好达等企业实现了产业化,近三年新增产值13.46亿元,新增利税4.46亿元,创汇3950万美元。专家鉴定认为成果“整体处于国际先进水平,在声表面波滤波器换能器结构与功率耐受性能、大带宽器件设计技术等方面达到国际领先水平”。 成果产品打破了国外的垄断,已成功应用于华为、中兴等几乎所有的国产品牌手机,并出口到韩国三星等。研发的声表面波滤波器件与模块还大量应用于中国相控阵雷达、预警飞机和驱逐舰等,为防务领域提供了器件保障。
[成果] 1900010117 四川
TN41 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:电子基板是电子信息产业的基础,是电子产品“集成化、轻便化、多功能、低成本”的重要技术保障。经过近30年发展,中国电子基板已取得巨大进展,占据电子基板国际市场的40%以上,该行业的升级和结构调整,对中国电子信息产业的发展具有巨大的推动作用。然而中国高端基板长期依赖进口,特别是柔性电子技术的兴起与迅速发展,迫切需求发展新一代电子基板材料。 高磁导率磁性基板是近年来国际上快速发展的一类新型电子基板材料,具有磁导率高、厚度薄、阻抗匹配效果好、易于共形等特点,广泛应用于近场通信(NFC)、无线充电(WPC)、抗电磁干扰(EMI)等军民领域。该项目针对中国在该材料领域缺乏系统集成能力、整体工艺水平落后、磁导率等关键技术指标低等主要差距,重点开展了基板集成设计方法、材料体系与配方、产业化及应用等工作,取得的主要创新和成效如下: 创建了高密度电子集成领域——磁性基板集成应用设计方法,拥有完全自主知识产权,形成了磁性基板集成应用的理论支撑。项目建立了磁性基板参数与天线性能之间的关联,制定了磁性基板测试与评估的方法和标准,开发了磁性基板集成应用设计方案;理论支撑了AI智慧终端近场天线设计,使天线尺寸下降40%,信号传输距离增加20%,显著提升磁性基板使用效能。 发明了长期制约磁性基板领域发展的高磁导率低损耗材料体系与配方,磁导率比国际水平报道值高出17%,达到国际领先水平。项目提出了采用纳米掺杂及Co2+钉扎调控磁性材料共振峰位置,Fe2+调控材料磁损耗,烧结粉体粒度分布控制材料表面活性能等方法,实现了产品基板厚度0.06mm~0.3mm连续可调,相对复磁导率:μ′≥175,μ″≤3.5。 打破了国际上传统磁性基板制备工艺的技术壁垒,首次建立了全相溶水系流延和二次回归烧结工艺平台,大幅度降低生产成本,提升了批产合格率。项目发明了PVA与PEG融合的浆料配方体系、水系流延专用流延盒及排气设备,掌握了磁性基板高温蠕变与荷载烧结、烧结温度场与磁参数关联的变化规律;实现产品翘曲度≤0.1mm,频点漂移量偏差±1%,优于行业标准值3倍。 实现了中国磁性基板完全自主并出口欧美,支撑了中国智能可穿戴电子产品近场天线/无线充电等前沿领域的研发,引领行业技术的发展。成果应用于华为公司,推出了具有近场通信功能的全球首部AI智慧手机Magic及国内首部智能手表Watch II;应用于魅族公司,突破了国外手机金属外壳设计专利垄断。 项目获授权发明专利26项,发表文章37篇,形成企业标准17项;成果已在魅族、华为、安费诺、中电第十四研究所等国内外40余家知名企业批量应用,直接产值超4亿,间接产值超18亿元;成果于2016、2017年度连续获得商务部、信息产业部、科技部组织中国国际消费电子博览会“LEADER创新奖”获2017年四川省科技进步一等奖。项目完成单位为此受到科技部表彰,并获得2016年六部委颁发的国家“高技术工程突出贡献奖”。
[成果] 1800130195 北京
TN773 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:变频器集成了电力电子、电机传动、计算机科学、通讯技术等多种学科,在节能减排领域大量应用;但在冶金、港机、船舶、电力、石油化工、轨道交通等行业,高性能低压变频器市场长期被外资品牌所垄断,国家每年要花费巨额资金去购买国外的高性能变频器产品。中国变频器市场容量已突破200亿元,高性能低压变频器市场容量约120亿元。对于高性能低压变频器产品,掌握核心技术、自主研发国产品牌、打破国外技术垄断,不仅可以满足国内市场需求的日益增长,还可以振兴民族高端装备制造业。 项目组历经九年不断的技术探索和理论创新,实现了以下主要创新点: 1、国内首创基于Intel X86CPU的高性能变频控制器,采用实时多任务、多时间尺度,支持多通信协议的协调统一操作系统,实现了控制器的快速实时响应和高精度控制,适应高端变频器及系统应用的需求。 2、针对变频器高端应用需求,采用控制器与功率单元分体结构,研发了模块化的功率单元,以及晶闸管与IGBT混合并联整流器。采用了基于实时以太网的控制器和功率单元、变频器之间的快速协调通讯。实现了功率单元模块化应用以及变频器并联扩容。 3、开发了基于互联网和VPN技术的运行及故障数据记录系统、远程监控技术、故障诊断技术,提高了变频器的可维护性。 该研发项目攻克了矢量控制、多机并联、电机参数自动辨识、模型参数自整定、非线性补偿、负荷观测器、实时以太网、快速数据采集分析技术等多项难题,共计获得发明专利4项,实用新型专利2项,软件著作权6项,国内外学术论文5篇,获得省部级优秀论文一等奖,被国内核心期刊、EI、IEEE收录。该项目经中国机械工业联合会鉴定处于国际先进水平,其产品通过国际TüV的2项认证和CCS中国船级社认证。 自2009年该项目产品先后在中厚板和棒线材生产线、飞剪、转炉等国产高端装备得到应用,总计装机容量约为200MW,累计销售1000多套,累计收入约1.5亿元,为用户节省投资约5千万元,为北京市累计纳税300多万元。 作为高新技术企业的核心自主产品,该项目产品成功替代德国西门子进口产品,应用于宝钢、河钢等50余用户的生产线,一举打破了国外技术垄断,为民族高端装备制造业的发展做出了巨大贡献,为钢铁行业提供了节能减排、高效绿色的环保之路,为治理首都周边环境做出了示范和推动作用。 作为国产高端装备的典范和示范推广产品,该项目产品成功推广到冶金、市政、科研等多个行业,所属单位被中国设备管理协会评为“国产化设备用户满意单位”。
[成果] 1800220208 安徽
TN762 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:1、项目来源:项目名称:高档数控系统执行部件数字化通讯关键技术研究。安徽省科技攻关计划,计划编号1501021062。 2、项目所属技术领域:战略性新兴产业,高端装备制造领域。 3、主要技术内容:高档数控系统执行部件伺服电机中的内置编码器负责对实时位置、速度信息的采集和反馈功能。项目的目的是研究一种方法并设计一种装置对编码器输出的位置信息进行细分,并实现对该信息的数字化传输。具体的研究内容:研究了编码器信号的位置信息、速度信息的处理技术,尤其研究了位置信息的细分技术。并研制了相应的处理装置。研究了应用工业实时以太网powerlink对编码器信息进行数字化传输的技术。 4、技术经济指标:研究并实现了伺服电机内置编码器信号的位置信息、速度信息的处理技术和编码器信号的数字化网络化传输技术,获得3项发明专利,9项实用新型专利,编码器信息精插补细分倍数120~1000;工业实时以太网powerlink传输速度10/100Mbit/s自适应、响应时间1ms、报文抖动1us、RT模式循环周期10ms、IRT模式循环周期1ms。 5、促进行业科技进步作用:该项目的研究内容及装置能够应用于高档数控系统的研制,特别适合用于伺服电机的生产制造领域。通过应用该项目的研究成果,可以是使高档数控系统在执行部件的位置反馈信息处理的分辨率达到5弧度秒。提高了数控系统的分辨率。 6、第三方机构评价:2017年12月15日,安徽省电子产品监督检验所对中工科安科技有限公司委托检测的产品:编码器信号数字化处理装置(原型机),检测报告编号:(2017)皖电检所字721号,及工业实时以太网powerlink开发套件(EPL DEV KIT for Xilinx sp6),检测报告编号:(2017)皖电检所字722号。通过检测,各项技术指标符合合同书的要求。 7、查新报告:2017年12月15日,安徽省科学技术情报研究所(国家一级科技查新单位)对中工科安科技有限公司委托的“powerlink工业实时以太网通讯芯片IP核研发及开发套件制造”的查新结论如下:在FPGA内采用纯逻辑集成powerlink工业实时以太网协议栈的IP核研发及开发套件制造,国内所查文献,未见提及。 2018年3月8日,安徽省科学技术情报研究所(国家一级科技查新单位)对中工科安科技有限公司委托的“伺服电机编码器输出信号的数字化高分辨率处理及网络化传输技术”的查新结论如下:多个专利产品涉及的编码器输出的正余弦信号的高分辨率细分技术提高了电机转子实时位置角度和角速度的检测精度,国内所查文献,未见提及。
[成果] 1900010229 广东
TN713 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:卫星通信涉及多个频段,涵盖L、S、C、Ku、Ka等波段。不同的频段其物理特性不同。频段越低,绕射能力越强,对终端天线的方向性要求也低,它较适合用于移动通信环境,但缺点是带宽较小。而频段越高,情况正好相反。C、Ku频段相对较高,它们传输容量较大,提高工作频率是卫星通信领域的发展主流。然而,在Ku、Ka波段超高频宽带通信技术以及为核心发展的超高频通信设备所需要的核心器件基本掌握在欧美发达国家。华讯方舟通过该项目对超高频卫星通讯微波部件的研发与产业化,打破了欧美发达国家的垄断,取得了巨大的经济效益,中国卫星全球服务联盟认定华讯方舟所生产的Ku/Ka兼容卫星地面设备产品居国际领先水平。 超高频卫星通讯微波部件的研发与产业化项目针对超高频卫星通讯微波部件需求,突破了Ku-Ka全覆盖天馈系统技术、兼容Ka波段和Ku波段单向宽带波导器件和转换器技术、互不干扰Ku波段的Ka波段双向宽带波导器件技术、 Ka波段双向低插损耗滤波技术等关键技术。采用了Ku-Ka双频段分波器等技术实现了高性能宽频带低轴比的双频馈源;提高测角数据的采样率来实现Ku-Ka频段的高动态高精度捕获跟踪需求,提出了技术可行、工程可实现的关键技术解决方案。采用低温共烧陶瓷LTCC等新型多层电路结构,提出了Ka波段双向低插损耗滤波器,大大缩小了滤波器的体积,有效地解决了基片集成波导滤波器小型化的问题。提出了一种宽带的微波微带转换器,并加大了探针在波导腔内的尺寸,减弱了波导的高阻特性,以减小阻抗对频率变化的灵敏度,从而拓展了过渡结构的带宽。该项目获得知识产权15项,其中发明专利6项,实用新型8项,外观设计1项。 该项目总投资规模:2125万元,其中包括设备及工器具购置费1425万元,研发费700万元,用于超高频卫星通讯Ka、Ku及Ka/Ku兼容微波射频部件(波导、馈源、高频头等ODU部件)的研发与产业化项目;华讯方舟自2012年开始接受欧美订单,2013年实现4.35亿元人民币出口,净利润达到0.42亿元;2014年与欧美主要卫星通信运营商和卫星通信设备集成商签署9.54亿元订单,净利润达到1.29亿元;2015年与欧美主要卫星通信运营商签署订单(11.55亿人民币),净利润达到1.01亿元;2016年销售收入达到14.20亿元人民币出口,净利润达到1.72亿人民币;2017年欧美五大运营商订单持续增加,销售收入达到20.95亿元人民币,净利润达到1.98亿元;截止到2017年累计销售收入共61.58亿元,净利润达到6.42亿元人民币。
[成果] 1900010409 湖北
TN722.34 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:该项目属信息科学中光学与光电子学领域。 全光信号处理直接在光域进行,可减少“光-电-光”转换环节,有效克服光电转换瓶颈和极大降低系统功耗,是下一代大容量和绿色光通信网络中的支撑性技术。半导体光放大器(SOA)因为体积小、便于集成、非线性效应众多等优点被广泛地应用于全光信号处理中。应用在光通信网络中对SOA非线性全光信号处理提出三个方面的要求:1)如何实现功能可重构?2)如何实现新的功能?3)如何改善输出性能?在来自国家自然科学基金、973和863计划等5项课题的资助下,课题组针对上述三个方面的要求,紧紧围绕全光信号处理中SOA非线性效应选择性调控这个主题进行了持续的基础性研究工作,主要发现点和创新成果如下: 1.新理论:针对SOA的不同非线性效应和不同光信号处理功能应用,发展了一套统一的非线性/线性频谱变换理论,将不同非线性过程统一为对输入信号的频谱变换作用,和不同线性滤波过程结合,实现不同的光信号处理功能,为基于同一种结构实现多种光信号处理功能奠定理论基础。 2.新机制:综合考虑了载流子加热和光谱烧孔等带内超快非线性作用过程和带间跃迁非线性作用过程的共同作用,发现了SOA中一种新的非线性效应工作机制,首次提出瞬态交叉相位调制(T-XPM)的概念。新的非线性效应工作机制有效拓展了SOA可实现的光信号处理功能。 3.新方法:发现光子数浓度是影响SOA载流子动态特性的关键因素,发明单端反射式SOA来选择性增强交叉增益调制效应,改善了SOA光信号处理输出性能,并提高了SOA光信号处理实现方案的灵活性和可扩展性。 该项目8篇代表性论文他引总数403次(WOS总他引290次,SCI他引224次),被来自41个国家的239个单位的学者引用,成果被专著/特邀/综述文章引用22篇次,2篇文章受到Nature photonics、Nature Communications正面引用,得到包括IEEE Fellow美国Agrawal教授、加拿大姚建平教授、Azana教授、英国Richardson教授、日本Koshiba教授等著名专家引用和正面评价。接受Electronics Letters杂志关于逻辑门工作的专访,研究成果被编入国际通用英文教科书《Fiber-optic Communication Systems》第四版(斯坦福大学等知名高校使用教材),出版中文专著《半导体光放大器及其应用》和英文章节2章,获得湖北省自然科学一等奖2次,教育部自然科学一等奖1次,全国优秀博士论文奖1次及提名奖2次,培养基金委“杰青”1人,“优青”1人,入选OSA Fellow1人,入选中组部“万人计划”创新领军人才计划1人,担任国际会议主席和程序委员会主席9次,先后在国际会议上做特邀报告62次,担任Springer期刊《Frontiers of Optoelectronics》期刊副主编、OSA期刊《Photonics Research》和IEEE期刊《Photonics Journal》助理编辑。
[成果] 1800240080 江苏
TN713 应用技术 电子元件制造 公布年份:2018
成果简介:声表面波器件在移动通信领域用作射频滤波器,在物联网领域用作传感器。为实现基于声表面波器件的射频识别和无线传感应用,相应的读写系统不可或缺。该项目在国家科技重大专项、工信部工业强基项目、江苏省科技支撑计划、国家自然科学基金、航空科学基金以及企业横向合作等课题的支持下,开展了声表面波器件与其读写系统的开发和应用工作,并取得了一系列成果。 主要科技创新点如下: 1、建立了基于广义格林函数的声表面波理论分析模型,通过波动方程加上边界条件严格推导和计算的方法并结合HFSS、ADS软件实现了声表面波器件的精确仿真和优化设计。发明了一种具有叠加准周期条阵结构的声表面波器件,可在保证性能的前提下实现器件的小型化。 2、设计了基于声表面波器件的读写系统结构和工作方法,发射链路根据声表面波器件的特性和零中频技术进行了改进,接收链路采用直接欠采样数字正交解调方案,解决了传统读写系统收发链路存在的结构复杂、成本高以及两路正交信号幅相不平衡等问题。还能够实现发射功率、接收增益的程控可调,并且只需更换带通滤波器的通带范围便可涵盖多个ISM频段。 3、为解决声表面波技术用于射频识别和无线传感时的多节点检测问题,针对谐振器型声表面波器件,发明了一种由多个器件并联的自编号声表面波传感器;针对延迟线型声表面波器件,发明了一种采用相关叉指换能器的声表面波传感器。在实现多节点识别和传感的同时,大幅度降低了器件的生产成本,有益于声表面波传感器的大规模工业化应用。 4、针对在声表面波器件基础上通过结构改变衍生出的声板波、乐甫波等同类型微声电器件,发明了声板波虚拟阵列器件和多叉指并联型乐甫波器件以及基于上述器件的液体检测系统结构和工作方法,实现了对液体的多参数并行检测。系统具有无线无源功能,可完成对批量液体试样的检测,同时还能测量环境温度,并且消除环境温度对液体测量结果的影响。 该项目已授权国家发明专利14项,实用新型专利13项,相关学术论文35篇。开发了4G智能手机用射频声表面波滤波器,研制的NDM9001型北斗接收射频前端模块已用于北斗卫星导航系统;研发的声表面波射频识别系统的识别距离可达8米,远于之前国内报道的5米,并且还具有一定的防冲突功能;开发的谐振器型声表面波温度传感器已安装在智能电网领域的高压开关柜现场,并且解决了多套系统使用时存在的干扰问题;延迟线型声表面波温度传感器在编码容量达600万、读写距离超过3米的前提下,测温精度可达0.4℃;除此之外,还采用声表面波技术实现了液体的多参数并行检测。该项目带动了相关产业核心产品竞争力的提升,获得了显著的经济效益和社会效益。
[成果] 1700460022 福建
[TN41, TN405] 应用技术 电子元件制造 公布年份:2017
成果简介:课题来源与背景:传统双面电路板是由铜箔+AD胶+PI/PET/+AD胶+铜箔组成,大多数都是线路环绕,如果直接从铜面走线上桥接,那正面铜箔会出现短路现象,只能在背面桥接一条铜箔线路,产品面积较大时就较浪费,蚀刻后背面没有任何硬度,因为背面只需要一条桥接的铜箔即可,其余铜箔都需要蚀刻掉,大量铜没有起到作用就会被蚀刻掉产生资源浪费,工艺复杂、流程长,产品容易皱褶,钻孔易偏位等问题造成不良率高,生产成本居高不下。技术原理及性能指标:项目提供一种单面板印自制导电材料工艺,采用PI基材、胶层、铜线、油墨层和导电材料印制线路,运用导电材料印刷工艺可以替代双面板的繁琐工序,用单面铜箔代替双面铜箔,降低成本,还可以节约资源。由PI基材、胶层、铜线、油墨层和导电材料线路构成;板材厚度:≦0.05mm;电阻公差:≤0.1欧姆;产品良率≧90%。
[成果] 1700440785 浙江
TN624 应用技术 电子元件制造 公布年份:2017
成果简介:产品通过改进接头塑胶件和防水圈的结构,在接头塑胶件螺纹端中间设置较高的环形台,在防水圈环形端面设置凸台,使花篮与接头塑胶件抵紧,有利花篮尾端爪子与线缆夹紧;采用将螺母旋入接头塑胶件、接头塑胶件外部掏空结构设计,实现花篮推动防水圈轴向压缩,构成机械多重防水。产品具有使用可靠、寿命长等优点,相关技术已获实用新型专利1项,技术处于国内同类产品领先水平。
[成果] 1700440787 浙江
TN624 应用技术 电子元件制造 公布年份:2017
成果简介:产品主要由接头组件、导电组件及密封固线组件等组成。防水圈采用三环结构,内圈与光伏线缆直接连接,两个外圈分别插入接头槽内、内壁与光伏线缆之间的缝隙中,防水圈装入接头后有多个干涉点,并通过螺母旋入接头,进一步提高了密封性能。产品具有安全性好、使用寿命长等优点,相关技术已获实用新型专利1项,产品技术处于国内领先水平。
[成果] 1800070051 河北
TN722 应用技术 电子元件制造 公布年份:2017
成果简介:1、所属科学技术领域:该项目属于半导体材料,射频器件和集成电路领域。 2、立项背景:由单层碳原子紧密堆积成的二维蜂窝状晶格结构的石墨烯具有高饱和漂移速度(50,000,000cm/s),高载流子迁移率(室温200,000cm2/V.s),高热导率、低电噪声等特性,预期可实现THz频段的高频电子器件。但晶圆级石墨烯材料质量不理想,迁移率低、石墨烯晶体管器件工艺不成熟,电路设计和工艺欠缺。该项目主要研究碳化硅基石墨烯晶圆材料制备,开发石墨烯高频晶体管器件和低噪声放大器电路。 3、主要技术内容及发明点:该项目开展了石墨烯材料生长、载流子输运、高频器件工艺、晶体管建模,低噪声放大器电路设计和工艺研究,突破了高质量石墨烯材料制备技术,提升了石墨烯载流子迁移率,突破了器件欧姆接触、栅介质沉积、纳米栅形成、低噪声放大器电路设计等基础工艺问题,实现了高频率石墨烯晶体管器件和电路,各项指标达到国际领先水平。 发明点: (1)国际首创低损伤自对准石墨烯晶体管制备方法,预沉积金薄膜作为保护层避免器件制备过程中对石墨烯晶格造成的损伤。电子束直写栅后,以栅光刻胶作掩膜,金薄膜进行湿法腐蚀,然后进行介质和栅金属沉积,未被腐蚀的金薄膜形成自对准的源漏,该工艺避免石墨烯沟道被光刻胶等污染,同时大大降低寄生,提升石墨烯晶体管性能。 (2)在国际上首次设计和制作了石墨烯低噪声放大器单片集成电路,晶体管和匹配电路集成在同一衬底上,减小损耗。 (3)提出了碳化硅基外延石墨烯近平衡态生长新技术,并结合氢界面钝化技术,提高了外延石墨烯材料质量,同时降低了衬底的远程声子散射,实现了高迁移率外延石墨烯晶圆材料。 4、技术经济指标:碳化硅基外延石墨烯晶圆材料室温载流子迁移率国内外最高值6,600cm2/V.s,该项目达到9,010cm2/V.s;碳化硅基外延石墨烯晶体管电流截止频率国内外最高值350GHz,该项目达到407 GHz;最大振荡频率国内外最高值70GHz,该项目达到220GHz;研制出国际首支石墨烯低噪声放大器单片集成电路。碳化硅基外延石墨烯晶圆材料、晶体管器件和放大器单片集成电路各项指标达到国际领先水平。 5、授权专利情况该项目授权国家发明专利5项,美国发明专利1项。 6、应用及效益情况该项目研究成果已用于中国院苏州纳米所石墨烯场效应太赫兹探测器研制,为石墨烯场效应探测器国际最好报道结果;应用于中国科学院射电天文重点实验室太赫兹探测器和中国科学院微电子研究所石墨烯晶体管,取得了良好的效果。该项目研究成果具有良好的社会经济效益,在雷达,太赫兹探测,危险气体探测,大规模集成电路等领域推广应用前景广阔。
[成果] 1700442017 浙江
TN41 应用技术 电子元件制造 公布年份:2017
成果简介:技术创新点:新型的蚀刻技术:采用新型的蚀刻光阻和调整蚀刻液配方,减少侧蚀量和线路间的干扰,降低线路间距,增加布线密度,提高线路的可靠性。新型的对位系统:通过曝光对位系统进行调整,使得线路曝光的对位精度和对位效率都得到提升。新型的电镀技术:通过对电镀设备进行改造,使用新型夹头和框架固定半成品板,并使用新型的填孔添加液晶,从而使得卡板和盲孔可靠性电镀问题都得以解决。技术方案:采用新型光阻材料:在任意互连HDI板的线路制作过程中,需要先对光阻材料进行曝光显影。传统光阻单体中碳碳双键受到UV曝光后进行加成聚合,羧基则使未聚合单体可以溶于碳酸钠溶液进行显影。采用新型蚀刻液:通过在蚀刻液中添加护岸剂保护铜侧壁,并通过调整氧化剂与酸液比例来控制流体动力黏度和雷诺数,使得蚀刻线路底部的扩散层厚度减小,反应传质更好,最终使得蚀刻因子提升,实现精细线路蚀刻。采用新型曝光对位系统:电路板的线路和阻焊曝光作业中,采用光学镜头捕捉半成品板面靶标进行对位和影像转移。采用新型电镀设备和治具:通过厂内自主设备改造,采用线型夹头替代点型夹头并配合相框式电镀治具,实现薄板的稳定量产电镀。采用新型填孔电镀药水:通过与电镀药水供应商共同开发,对加速剂和抑制剂进行表面改性和比例调整,使得填孔时点位选择区间变窄,抑制剂和加速剂分布更为理想。
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