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冷阴极溅射离子泵
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  • 中图分类:
    TB752
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    该获得工具一溅离子泵具有超高真空环境及清洁的真空表面,减少气体分子的砰撞几率,形成单分子层的时间长,是世界公认的一种清洁超高真空获得理想方法,极限真空度高,无污染、无噪声、无振动,维护方便等优点。目前应用领域愈来愈广泛,主要有:表面科学分析与研究,材料提纯,光电器件,夜视技术,粒子加速器,储存环,可控热核反应,空间模拟装置电真空排气装置等。主要性能指标:极限其空度:优于5×10〈’-9〉Pa;对氮气的抽速(SN):25升/秒;50升/秒;100升/秒;200升/秒;400升/秒;三极式溅射离子泵对惰性气体氩的抽速:S〈,Ar〉=20-30%Sn。市场前景:该产品国内市场占有率为50%以上,其生能指标优于国内其它厂家产品,可完全替代外国货,尤其产品价格仅相当于进口产品的1/3-1/4。随着科学技术的发展以及真空科学与技术向其它领域的扩展与渗透,该产品将在超高真空领域中得到愈来愈多的应用。认定情况:1994年由北京市科委认定为高新技术 发展阶段:定型生产。
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