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洁净真空系统中污染物扩散沉降规律研究
摘要: 真空系统中的污染物质在一定条件下会在真空中释放,经扩散,吸附、沉降到真空室、光学元件等表面,导致系统污染、元件性能下降和其他一些负面影响,并致使整个真空系统中不同位置的污染程度不同。为保护关键元件不受污染,需要研究真空系统运行过程中污染物在空间中的分布情况。本课题研究对需要洁净真空环境的研究和应用具有重要价值。
  论文首先进行模拟研究。根据真空中污染...   查看全部>>

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